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乾式基板洗浄装置

基板表面に洗浄用粉体を吹きつけ、基板上の微粒子や汚れを洗浄用粉体と一緒に 高圧吸引することにより基板表面のクリーニングを行う。

・１μｍ以下の超微粒子も完全除去

従来の乾式洗浄装置では不可能であった１μｍ以下の微粒子も完全除去

・表面に付着した汚れも完全除去

負圧による洗浄用粉体の流れにより基板表面を傷つけること無く付着した汚れも完全除去

・基板表面の研磨加工も可能に

洗浄粉体を硬度が高く切削性のある粉体にすることにより基板表面の研磨加工が可能

・乾式のため基板の乾燥工程が不要

洗浄液を使用しない乾式洗浄のため基板の乾燥工程が不要となり洗浄コストが低減

・クリーンルームでの使用が可能

負圧のエネルギーを使用して洗浄を行うために装置からの紛体の飛散もなくクリーンルームでの使用が可能

・表面の油汚れ等除去可能

油を吸収しやすい洗浄粉末を使用することにより切削油等表面に付着した油も除去可能

基板クリーニング

・ディスプレイ用ガラス基板のクリーニング

・プリント基板の表面クリーニング

・太陽電池用基板のクリーニング

・サンドブラストパターン加工後の基板洗浄

・レーザー加工後の基板洗浄