微粉用ELFO-BLASTER用途
 精密图样喷砂切削加工
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・最小图样 喷砂装置可加工槽幅２０μｍ・穴４０μｍ・３０μｍ柱形点切削。 ・加工水准 喷砂装置加工能力比传统的要提高2倍到8倍的水准。 ・加工対象基板 水晶・玻璃・陶瓷・化合物半导体・半导体晶体・航空机部品等脆性材料・金属材料 ・加工内容 穴加工・Dicing加工・柱形点加工・槽加工 |
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・加工例 |
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 plasma display放电空间形成 （３０μｍ网格线宽、高１８０μｍ） |
 玻璃开溝加工 （线宽２０μｍ） |
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 陶瓷柱形点加工 |
 陶瓷齿轮加工 |
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 Dicing用槽加工 （线槽宽３０μｍ） |
 dimple 加工 |
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 不锈钢图样切削加工 （深度３５μｍ） |
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macro shot peening加工 |
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喷砂装置用微粒子高速度吹打金属表面 ，使金属表面硬度坚韧化，处使金属表面组织微妙变化 ，这样可使 金属表面强度大大提高。 这种macro shot peening(微粒喷射表面硬化）加工处理，刀片和金属部品的寿命大幅度延长。 |
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喷砂式喷涂
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使用高圧氮气喷射金属微粒，在玻璃・陶瓷・金属等表面上喷涂金属膜可能。
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 alumina 基版上喷涂銅膜 |
 玻璃基版上喷涂银膜 （行幅１５０μｍ 间隔宽４５μｍ） |
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除毛刺微細加工
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使用微细的研磨材，可以完全除去毛刺，而不会损害基版。 |
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 0.2㎜ 加工前 |
 0.2㎜ 加工后 |
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表面粗糙化微加工
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表面清洁加工 |
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喷砂装置是用微粒子吹击的方式除去素材表面的污垢，如表面老化的酸化膜，涂装膜，电镀膜，烤漆等。 在处理过程中使用对素材表面损害程度非常小的微粒材料。 |
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承接试作加工
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