セラミック・ガラス等の脆性材料へのパターン切削加工（マイクロブラスト加工）
穴あけ加工| 厚さ0.4mmシリコンウェハー基板穴加工例 |
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φ0.2mm穴加工 |
φ0.3mm穴加工 |
φ0.4mm穴加工 |
ダイシング加工| サンドブラスト加工によるダイシング加工例（ガラス・シリコンウェハー） |
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0.3mm厚ガラス基板 |
0.4mm厚シリコンウェハー |
0.4mm厚シリコンウェハー |
シリコンウェハーザグリ加工例 |
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シリコンウェハーザグリ加工
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シリコンウェハーザグリ加工
ザグリ深さ0.45mm |
シリコンウェハーザグリ加工
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セラミックの精密ブラスト加工例 |
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セラミック（黒アルミナ）のピン加工ピン径φ0.2mm 深さ0.2mm |
セラミック（窒化アルミ）の穴加工穴径φ0.2mm 深さ0.3mm |
セラミック（窒化アルミ）ダイシングダイシング幅0.15mm 基板厚み0.3mm |
